aladdin 阿拉丁 B487586 缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 6:1 含表面活性剂

中文名：缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 6:1 含表面活性剂

英文名：Buffered oxide etchant (BOE) 6:1 with surfactant

英文别名：Buffered HF, BHF

货号：B487586

包装：250ml

产品介绍：

描述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

应用

含表面活性剂的缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于去除基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管的氧化物，用于栅极光刻。也可用于缓冲氧化物蚀刻剂方法，制造微生物芯片。

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