aladdin 阿拉丁 B487576 缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 10:1

中文名：缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 10:1

英文名：Buffered oxide etchant (BOE) 10:1

英文别名：Buffered HF, BHF

货号：B487576

包装：1l

产品介绍：

描述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）薄膜。它是一种缓冲剂的混合物，例如氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快，无法实现良好的工艺控制，并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

备注：勿存放于玻璃器皿。

应用

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻，用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。

查看阿拉丁官网此产品相关对应页面：https://www.aladdin-e.com/zh_cn/B487576.html