KLA光学轮廓仪 Profilm 3D 白光干涉仪

产品描述

Filmetrics Profilm3D 和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉仪能够高分辨率地测量亚纳米级分辨率的表面形貌。Profilm 3D系列的光学轮廓仪机台支持垂直扫描和相移干涉测量法。Profilm 3D光学轮廓仪 采用TotalFocus™ 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。最新一代的 Profilm3D 引入了加强版粗糙度成像技术，可用于测量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。Profilm3D 还具有简单、创新的用户界面和自动化功能，支持从研发到生产的各种工作环境。

我们的 Profilm^® 软件包采用先进的基于云的 ProfilmOnline^® 网络服务、 Android 和 iOS 的移动应用程序以及高级 Profilm 桌面软件，可提供灵活的数据存储、可视化功能以及分析解决方案。

Profilm 3D光学轮廓仪特征优势

• 垂直扫描和相移干涉测量法用于测量纳米级到毫米级的表面特征

• TotalFocus 3D成像技术对整个测量范围内的每个像素的聚焦能力都进行了优化

• 真彩色成像可生成实际的样品颜色，增强可视化效果，尤其是对于细小或埋藏的特征

• 粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹的对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比

• 该自动对焦功能具有行业领先的长压电行程范围，可扫描高度相隔甚远的多个表面

• 可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。

•  快速测量大面积区域：具有长行程范围的 自动化 X-Y 样品台（测量范围为毫米级别，配置XY样品台达100mm*100mm），非常适合分布测绘和拼接扫描

• 可视化3D功能：使用简便的软件包带有高级 Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移动应用程序，可用于灵活的数据存储、可视化功能以及分析。Profilm 3D轮廓仪具有强大的处理软件，软件除包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量外，还可以任意角度移动样品量测三维图形，多角度分析样品图像。

• 适用于各类样品：Profilm 3D轮廓仪适用于各类金属、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、电介质、硬质涂层、高分子聚合物、光刻胶等的表面轮廓及粗糙度等测量。

Profilm 3D光学轮廓仪应用功能

• 台阶高度：从纳米级到毫米级的 3D 台阶高度

• 纹理和形状：3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状

• 纹理表征

• 边缘倒角：3D边缘轮廓测量

• 缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征

• 对大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描

• 高粗糙度，低反射率，划痕表征

• 技术能力：厚度范围，VSI  50nm-100mm

                   厚度范围，PSI  0-3 µm                     

                   样品反射率范围 0.05%-100%

                   Piezo范围 500 µm

                   XY平台范围100mm x 100mm

Profilm 3D光学轮廓仪应用领域

• 大学、实验室和研究所

• 硅和化合物半导体

• 精密光学和机械

• 医疗设备

• LED：发光二极管

• 功率器件

• MEMS: 微机电系统

• 数据存储

• 汽车

Profilm 3D光学轮廓仪应用案例