Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪/台阶仪

Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。

产品描述

      Alpha-Step D-500探针式轮廓仪支持对台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。 创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

      轮廓仪探针测量技术的一个优势是它是接触式直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这可以对您的工艺进行量化，以确定添加或移除的材料量，以及通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

特征

• 台阶高度：纳米级到1200微米

• 微力：0.03至15毫克

• 视频：5MP高分辨率彩色相机

• 梯形失真校正：可消除侧视视图造成的失真

• 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差

• 小巧的尺寸：体积最小的台式探针式轮廓仪

• 软件：用户友好的软件界面

主要应用

• 台阶高度：2D台阶高度

• 纹理：2D粗糙度和波纹度

• 形状：2D翘曲和形状

• 应力：2D薄膜应力

应用领域

• 高校、实验室和研究所

• 半导体和化合物半导体

• LED：发光二极管

• 太阳能板

• MEMS：微机电系统

• 汽车

• 医疗设备

应用说明

    台阶高度

    Alpha-Step D-500 探针式轮廓仪能够测量从几个纳米到1200μm的2D台阶高度。 这使其可以量化在蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。 Alpha-Step 系列具有低触力功能，可以测量如光刻胶的软性材料。

    纹理：粗糙度和波纹度

    Alpha-Step D-500测量2D纹理，量化样品的粗糙度和波纹度。 软件过滤功能将测量值分离为粗糙度和波纹度的部分，并计算诸如均方根（RMS）粗糙度之类的参数。

    外形：翘曲和形状

    Alpha-Step D-500可以测量表面的2D形状或翘曲。 这包括对晶圆翘曲的测量，例如在半导体或化合物半导体器件生产过程中，多层沉积层结构中层间不匹配是导致这类翘曲产生的原因。Alpha-Step还可以量化包括透镜在内的结构高度和曲率半径。

    应力：2D薄膜应力

     Alpha-Step D-500能够测量在生产包含多个工艺层的半导体或化合物半导体器件期间所产生的应力。 使用应力卡盘将样品支撑在中性位置***测量样品翘曲。 然后通过应用Stoney方程，利用诸如薄膜沉积工艺的形状变化来计算应力。