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KLA-D600 高精度探针式轮廓仪/台阶仪 Alpha-Step D-600

询价 1台 起订
上海 更新日期:2024-11-19

那诺-马斯特中国有限公司

非会员
联系人:张经理
电话:021-62318025拨打
手机:17317363700 拨打
邮箱:moses.zhang@nano-china.com

产品详情:

中文名称:
KLA-D600 高精度探针式轮廓仪/台阶仪 Alpha-Step D-600
产品类别:
半导体量测设备


KLA-D600的探针式台阶仪Alpha-Step D-600,可测量纳米级至1200um台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。

KLA D-600.jpg

产品描述:

Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的2D和3D测量,以及2D翘曲度和应力。创新的光学杠杆传感器技术提供高垂直分辨率、长程垂直测量范围和微力控制测量能力。

探针接触式测量技术的优点是可以进行接触式直接测量,与材料特性无关。多种力度调节和探针选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。该探针测量选项能够对您的工艺进行量化,以确定添加或去除的材料量,并通过测量粗糙度和应力来确定结构的任何变化。

功能特点:

  • 台阶高度:纳米级到 1200 微米

  • 微力:0.03 至 15 mg

  • 视频:5MP高分辨率彩色相机

  • 梯形失真校正:可消除侧视视图造成的失真

  • 弧形校正:可消除探针的弧形运动引起的误差

  • 小巧的尺寸:系统占用体积小

  • 软件:用户友好的软件界面


应用功能:

  • 台阶高度:2D和3D台阶高度

  • 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度

  • 形状:2D和3D翘曲度和形状

  • 应力:2D薄膜应力


应用领域:

  • 高校、实验室和研究所

  • 半导体和化合物半导体

  • LED:发光二极管

  • 太阳能板

  • MEMS:微机电系统

  • 汽车

  • 医疗设备


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公司简介

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室,提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备,正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商,已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务

成立日期 (10年)
注册资本 100万人民币
员工人数 1-10人
年营业额 ¥ 1000万-5000万
经营模式 定制
主营行业 其他仪器耗材

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