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上海伯东残余气体分析仪 Hicube RGA

Hicube RGA
询价 1台 起订
上海 更新日期：2023-01-04

伯东企业（上海）有限公司

非会员
联系人：叶南晶
电话：13918837267拨打
手机：13918837267 拨打
邮箱：ec@hakuto-vacuum.cn

产品详情:

英文名称：
Hicube RGA
品牌：
Pfeiffer
产地：
德国
产品类别：
质谱分析仪

 因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

残余气体分析仪 Hicube RGA
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA. 四极杆质谱 PrismaPro 与 HiCube 涡轮分子泵组的搭配, 质量数范围 1-300, 高分辨率和灵敏度. 适用于残余气体分析, 过程监测, 泄漏检测.

残余气体分析仪 Hicube RGA 优势
残余气体分析和氦气泄漏检测模式
可用于从大气压至高真空环境
高分辨率和灵敏度
通过真空压力监测保护灯丝
进气系统带集成式切断阀

Pfeiffer 残余气体分析仪 Hicube RGA 技术规格

涡轮分子泵组

HiCube™ Eco

功耗

170W

电压（范围）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮气抽速

67 l/s

前级泵在 50 Hz 时的泵送速度

1 m3/h

极限真空

<1X10-7 hPa

真空计

PKR 361

测量范围

1X10-9 至 1X103 hPa

阀门

EVN 116

气体流量

可调整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s

进气口

DN 16 ISO-KF

 

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

检测器

法拉第 Faraday (F)

电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

质量数 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四极杆直径／长度

6 /125 mm

最小检测极限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小检测极限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

对Ar的灵敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

工作压力 F hPa

5X10-4

工作压力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

对临近质量数的影响*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作温度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作温度 电子

5 – 50 °C

烘烤温度 分析

300 °C

连接法兰

DN 40 CF-F

保压时间

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重复性

± 0.5 %

接口

以太网

电源电压

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube™ RGA重量

25.5 - 26.2 kg


残余气体分析仪 Hicube RGA 典型应用
残余气体分析: 对真空系统中残余气体的分析, 可以获知在达到所需的最终压力或调节要求时, 残余物质的组成. 由此可以得出各种有关系统表面性质, 脱附行为, 纯度和密封性以及工艺气体成分的结论. 这将为您提供有关真空室或真空组件状态的重要信息.

泄漏检测: 上海伯东 Pfeiffer 残余气体分析仪 HiCube RGA 具有氦气泄漏检测模式, 可以通过软件控制激活. 此功能可以方便您发现真空系统中的任何泄漏.

过程监控: HiCube RGA 可以在 300u 的测量范围内随时间观察任意数量的选定质量强度, 并可对选定的各质量分配警报循环阈值. 如果它们高于或低于所需极限, 则可以通过数字输出将信号提供给更高级别的控制系统. 因此残余气体分析仪 HiCube RGA 能够提供实时过程观察和控制功能. EVN 116 气体计量阀还可以使真空系统中的压力适应相应过程需求, 此外, 集成式切断阀还允许对泄漏设定点进行快速开/关控制.

质量保证和过程优化: 诸如提供气体成分定量测定, 确定过程气体纯度, 以及监测真空镀膜过程相关气体成分等能力, 残余气体分析仪 HiCube RGA 是过程记录和质量保证中的重要工具. 即使测量正在执行, 所有测量值也会得到存储, 并且可以在不停止测量的情况下追踪. 即使仍在执行测量, 也可以导出测量结果以进行进一步分析.

若您需要进一步的了解残余气体分析仪详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 叶小姐                                   台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同号 )      M: +886-939-653-958
qq: 2821409400

现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶小姐 1391-883-7267
上海伯东版权所有, 翻拷必究！


残余气体分析仪;气体分析仪;质谱分析仪;四极杆质谱;

公司简介

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。 上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。 上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。 上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

成立日期 (29年)
注册资本 1550.000000万美元
员工人数 50-100人
年营业额 ￥ 1亿以上
经营模式 贸易
主营行业 特种化学品,反应设备,泵阀设备,真空设备

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