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磁控溅射仪 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机 那诺-马斯特

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上海 更新日期:2024-07-11

那诺-马斯特中国有限公司

非会员
联系人:张经理
电话:021-62318025拨打
手机:17317363700 拨打
邮箱:moses.zhang@nano-china.com

产品详情:

中文名称:
磁控溅射仪 NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机 那诺-马斯特
产品类别:
沉积系统 磁控溅射系统


NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点:

  • 不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔

  • 70,250或500 l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

  • 13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • 完全的安全联锁


NSC-4000磁控溅射镀膜仪.png


NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机选配项:

  • 向上、向下或侧面溅射

  • RF、DC以及脉冲DC溅射

  • 共溅射、反应溅射

  • 组合溅射

  • RF或DC偏压(1000V)

  • 样品台可加热到700°C

  • 膜厚监测仪

  • 基片的RF射频等离子清洗

  • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片


NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机应用:

  • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

  • 光学以及ITO涂覆

  • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

  • 带RF射频等离子放电的反应溅射


型号:

  • NSC-4000:基于PC计算机全自动控制的独立式系统

  • NSC-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统

  • NSC-3000:PC计算机全自动控制的台式系统

  • NSC-1000:半自动控制的台式系统

(以下为双系统型号)

  • NSR-4000:溅射/RIE系统

  • NSP-4000:溅射/PECVD系统

  • NST-4000:溅射/热蒸发系统


磁控溅射系统;磁控溅射仪;磁控溅射镀膜设备;磁控溅射设备;磁控溅射镀膜机;

公司简介

那诺-马斯特中国有限公司成立于2015年4月,是服务大中华区(包含中国大陆,香港,台湾和澳门)的客户,同时我们在中国大陆设有专门的服务办公室,提供销售和售后技术服务。 那诺-马斯特中国的主要产品包括薄膜沉积设备、薄膜生长设备、干法刻蚀设备、兆声湿法清洗设备及太空模拟测试设备等等。Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计量公司。自从1993年开始Birol Kuyel博士全面接管那诺-马斯特美国并正式更名。 自2001年Nano-Master开始设计开发薄膜应用方面的设备,正式面世的系统依次是磁控溅射、PECVD、晶圆/掩模版清洗系统…。应用领域涵盖了半导体、MEMS、光电子学、纳米技术和光伏等。我们的设备包含用于二氧化硅、氮化硅、类金刚石和CNT沉积的PECVD,用于InGaN、AlGaN生长的PA-MOCVD,溅射镀膜(反应溅、共溅 、组合溅),热蒸发和电子束蒸发,离子束刻蚀和反应离子刻蚀,原子层沉积,兆声清洗以及光刻胶剥离等。三十年左右的时间内Nano-Master已经发展成为全球薄膜设备的供应商,已售出的几百套设备分布于20多个不同国家的大学、研发中心和国家重点实验室。 我们聘用技术熟练并具有良好教育背景的设计和制造工程师、应用工程师、服务

成立日期 (10年)
注册资本 100万人民币
员工人数 1-10人
年营业额 ¥ 1000万-5000万
经营模式 定制
主营行业 其他仪器耗材

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