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苏威HT135全氟聚醚|半导体蚀刻机专用导热液 耐-100~135℃

发布人:上海锐一环保科技有限公司

发布日期:2026/5/20 13:48:13

一、产品简介

苏威Solvay Galden HT135导热液是索尔维公司(Solvay)旗下Galden® PFPE系列中的一款高品质全氟聚醚(PFPE)介电流体,专为高性能热管理和电气绝缘场景设计

HT135的分子结构由碳、氟、氧原子构成,C-F键赋予其高热稳定性(可达290℃)、突出的化学惰性以及极低的挥发率,配合超低的介电常数和宽液温操作范围,使其成为半导体、电子制造、数据中心和高精密设备领域极端苛刻环境下理想的热传递介质与电绝缘介质。产品无毒性、无闪点、不燃不爆、安全环保,满足RoHS和REACH等国际环保法规要求

二、产品特性

1. 化学稳定性
HT135具备全氟聚醚家族标志性的全氟化学结构,分子中所有氢原子均被氟原子取代,形成极强的C-F键。这使得它在常温乃至高温条件下几乎对任何酸、碱、氧化剂和有机溶剂都呈惰性,与铜、铝、不锈钢等金属材料以及氟橡胶(FKM)、聚四氟乙烯(PTFE)等弹性体和塑料具备极佳的材料相容性,不腐蚀、不溶胀、不分解、无沉淀残留

2. 宽温度工况适应性
沸点135℃,低倾点低至-100℃,赋予HT135极宽的液体操作温度窗口。适用于需在不同温度区间交替运行或极限低温启动的设备,尤其在半导体刻蚀机台冷板、离子注入机热交换器等精密控温场景中,能够保证热传递系统在整个工艺流程中持续稳定运行,无相变、无结焦、无沉积。

3. 卓越的介电绝缘性能
HT135具有极高的体积电阻率(1.5×10¹⁵ Ohm·cm)和低介电常数(1.92,25℃),2.54mm电极间隙介电强度高达40kV。这一参数体系使其在高压高频环境下仍能可靠地充当绝缘介质,即便在100%浸没式液冷系统中直接接触通电元器件,也不会发生漏电或介质损耗事故。配合低耗散因子(2×10⁻⁴@1kHz),HT135尤其适合功率半导体、高压电源和5G基站的液冷绝缘设计。

4. 低挥发与易回收
常温蒸气压仅5.8 torr,沸点附近蒸发潜热16 cal/g,高温工况下蒸发损失量极低。配合专用的蒸馏回收装置,使用过的HT135可实现高达85%以上的同质回收率,进一步延长单次用料寿命,降低总体维护成本与物料消耗,帮助工业企业有效控制运行预算。

5. 环保等级与无尘车间适配
HT135外观为无色透明低气味液体,臭氧消耗潜能值为零(ODP=0),全球变暖潜能值低,不含氯氟烃及重金属有害杂质,符合RoHS和REACH等国际环保法规要求。液体表面张力低至17 dyne/cm,铺展性优异,在无尘车间内用于精密部件脱脂和表面处理时,能够做到无离子残留、无化学膜残留。此外配合氟化清洗剂可实现免擦拭清洁,避免二次污染,适配ISO 14644-1 Class 5级以上洁净车间。

6. 安全性
产品无闪点、无自燃点、无爆炸风险,获得FM全球认证,符合6930安全标准。即使意外泄漏也不会对设备和操作人员造成安全隐患。


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