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发布人：安徽旺山旺水特种气体有限公司
发布日期:2021/8/16 15:52:26
质量标准：
序号
项目
单位
规格值
1
氢氟酸 (HF)
wt%
≥99.999
2
氯化物（Cl）
ppb
≤100
3
硝酸盐 (NO3)
ppb
≤100
4
磷酸盐（PO4）
ppb
≤100
5
硫酸盐（SO4）
ppb
≤100
6
硅（Si）
ppb
≤100
7
铁（Fe）
ppb
≤50
8
镍（Ni）
ppb
≤50
9
铬（Cr）
ppb
≤50
10
铜（Cu）
ppb
≤50
11
钠（Na）
ppb
≤50
12
钙（Ca）
ppb
≤50
性状：
无色透明液体，在空气中冒白烟，有强烈刺激性气味，剧毒，并有强烈的腐蚀性，沸点19.5℃。
用途：
半导体蚀刻。
贮存：
贮存在带棚的库房中。严禁暴晒，严禁与易爆物品混放。
运输：
按一级无机酸性腐蚀物品对待。
包装：
用中压高纯钢瓶包装，每瓶4L、10L、40L或依客户要求。
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