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发布人：尚澜气体（上海）有限公司
发布日期:2026/6/1 15:33:17
氘气是一种氢的稳定同位素气体，在高端领域中经常可以见到它的身影，在半导体先进制程、光纤制造、科研实验、新能源研发等领域的可以说是核心原料。跟普通的氢气相比，氘气D2的性能更稳定，适配高端精密工艺，而且还支持混合气定制配比。
氘气的天然丰度极低，仅有0.014%左右，而通过一系列提纯富集，得到了99.999%纯度、99.8%丰度的高纯氘气，在半导体上能够满足3nm、5nm先进芯片制程的严苛要求。
在半导体工艺中，全都在向着微型化、高精度进行迭代，像芯片刻蚀、退火、薄膜沉积、期间改性等核心工序方面需要稳定性更好的材料，氘气就成为了3D NAND、GAA先进晶圆制造的必备特种气体。
为什么要选择氘气参与半导体工艺呢，氘气所合成的C-D化学键稳定性极强，能有效减少晶圆表面缺陷与侧壁腐蚀的问题，显著提升芯片的稳定性、寿命和良品率，适配高端集成电路与功率半导体的生产标准。
当然有些领域对于氘气的用量没有那么大，就像光纤制造、金属改性、常规科研、工业退火等场景，需要做成混配气会更好用，搭配氮气、氩气等惰性气体，就像1%-3%配比的氘氮混合气是低水峰光纤制造专用原料，可优化光纤结构、降低传输损耗、提升使用寿命。同时支持0.5%-10%多浓度定制，适配半导体退火、材料改性、实验室模拟实验等各类场景。
除核心半导体领域外，高纯氘气及定制混合气还广泛用于可控核聚变研发、核工业研究、氘代药物合成、低水峰光纤加工、特种器件制造、质谱分析、航空航天材料改性等领域，是前沿科技与高端制造业的关键原料。
氧18系列：氧18氧气、氧18一氧化碳、氧18二氧化碳、氧18水（重氧水)
特殊同位素：二氟化氙，氦3，硅28、氙124、氙129、镍64等；
特种气体：氦气、五氟化锑、丙二烯、丙炔、环丙烷、三氟化磷、六氟化钨、氪气，氙气，三氟甲磺酸酐、六氟化硫、环氧乙烷、五氟化碘、六氟丙烷、八氟丙烷、氯乙烯、乙炔等，核磁共振添加液氦，同位素混合气混配；
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