Parylene（派瑞林）涂层表面处理：磁性材料绝缘防损伤加工方案 |深圳方寸达

磁性材料（如钕铁硼、铁氧体、硅钢等）广泛应用于电机、传感器、变压器、医疗器械及消费电子等领域。然而，磁性材料易受环境因素（如湿度、腐蚀、摩擦等）影响，导致性能下降或失效。因此，可靠的绝缘防护处理至关重要。

Parylene（派瑞林）涂层作为一种高性能聚合物薄膜，凭借其超薄、均匀、高绝缘、耐腐蚀等特性，成为磁性材料表面防护的理想选择。本文将详细介绍Parylene涂层的优势、工艺及应用。

2. Parylene涂层的特点与优势

Parylene是一种通过化学气相沉积（CVD）工艺形成的聚合物薄膜，具有以下优异特性：

（1）超薄且均匀

• 涂层厚度可控制在0.1~100μm，且能均匀覆盖复杂结构（如凹槽、孔隙等），不影响磁性材料的尺寸精度。

（2）优异的绝缘性能

• 介电强度高（>5000V/mil），可有效防止漏电、短路等问题，适用于高精密电子元件。

（3）耐化学腐蚀

• 抗酸碱、溶剂、盐雾等腐蚀，适用于恶劣环境（如汽车、航空航天等）。

（4）防潮防氧化

• 极低的水汽透过率（<0.1g/m²/day），防止磁性材料氧化失效。

（5）机械防护

• 减少摩擦、磨损，防止磁性材料在装配或使用过程中受损。

3. Parylene涂层在磁性材料上的应用

Parylene涂层适用于多种磁性材料，典型应用包括：

（1）永磁体（钕铁硼、铁氧体等）

• 防止氧化、腐蚀，延长使用寿命。

• 减少涡流损耗，提高电机效率。

（2）软磁材料（硅钢、非晶合金等）

• 提供绝缘层，降低高频应用中的涡流损耗。

• 适用于高频变压器、电感元件等。

（3）磁传感器 & 精密磁性元件

• 防止湿气、粉尘污染，提高可靠性。

• 适用于医疗设备（如MRI）、汽车传感器等。

4. Parylene涂层加工工艺流程

Parylene涂层的制备采用化学气相沉积（CVD）技术，主要步骤如下：

1. 基材清洗

   • 去除磁性材料表面的油污、粉尘等（超声清洗、等离子处理等）。

2. 预处理（活化）

   • 提高涂层附着力（可选硅烷偶联剂处理）。

3. Parylene沉积

   • 在真空环境下，Parylene单体气化并沉积在材料表面，形成均匀薄膜。

4. 后处理（可选）

   • 固化、检测（厚度测量、绝缘测试等）