安谱实验半导体行业应用案例分享 —— CNWSep 离子柱

在半导体行业中，离子色谱柱主要用于半导体原材料、超纯水以及废液中痕量离子的精准检测与分析，是半导体制程管控、产品纯度保障及环保合规的核心耗材之一。例如，半导体芯片制造过程中，超纯水作为关键清洗试剂，其纯度直接影响芯片的良率和性能，水中痕量的阴离子和阳离子会导致芯片表面出现缺陷、氧化失效等问题；离子色谱柱可实现对这些痕量离子的高灵敏度、高分离度检测，精准把控离子含量，为制程优化和产品质量管控提供可靠数据支撑。

安谱实验推出多款高性能离子色谱柱，覆盖阴离子、阳离子及专用分析柱，产品体系完整，配套保护柱齐全，兼容主流离子色谱仪，支持从常规无机离子到复杂有机离子的检测需求，是半导体行业检测分析的可靠选择。

应用一：

超纯水中7种无机阴离子的分析

（碳酸根淋洗液）

色谱柱：CNWSep CS-P3 阴离子交换色谱柱 4.0×150mm,5μm（货号：LAEQ-4015N3）

检测器：电导检测器 抑制电流：40mA

淋洗液：4.5mM Na₂CO₃ +1mM NaHCO₃

流速：1.0mL/min

进样体积：25μL

柱温：30℃

应用二：

超纯水中10种无机阴离子的分析

（碳酸根淋洗液）

色谱柱：CNWSep CS-P4 阴离子交换色谱柱 4.0×250mm,5μm（货号：LAEQ-4025N4）

检测器：电导检测器 抑制电流：40mA

淋洗液：4.5mM Na₂CO₃ +1mM NaHCO₃

流速：1.0mL/min

进样体积：25μL

柱温：30℃

应用三：

超纯水中无机阴离子的分析

（氢氧根淋洗液）

色谱柱：CNWSep AS-P1 阴离子交换色谱柱 4.0×150mm，5μm（货号：LAEQ-4015M1）

检测器：电导检测器 抑制电流：72 mA

淋洗液：20mM KOH

流速：1.2mL/min

进样体积：25μL

柱温：30℃

应用四：

非抑制法测定6种常见阳离子

色谱柱：CNWSep MS-P3 非抑制阳离子交换色谱柱 4.6×250mm，5μm（货号：LAEQ-4625L3）

检测器：电导检测器 池温：35℃

淋洗液：3mM MSA

流速：1.0mL/min

进样体积：25μL

柱温：30℃