碳酰氟
中文名称:碳酰氟
英文名称:Carbonyl fluoride
CAS号:353-50-4
分子式:CF2O
分子量:66.01
EINECS号:206-534-2
Mol文件:353-50-4.mol
碳酰氟 性质
| 熔点 | -114°C |
|---|---|
| 沸点 | -84°C |
| 密度 | 1,139 g/cm3 |
| 溶解度 | 与H2O反应 |
| 形态 | 无色气体 |
| 颜色 | 无色 |
| 水溶解性 | instantly hydrolyzed by H2O [MER06] |
| 比热容 | Cp(gas): 0.71 J/(g·K), at 25℃ |
| Henry's Law Constant | 3.5×10-1 mol/(m3Pa) at 25℃, Mirabel et al. (1996) |
| 暴露限值 | PC-TWA: 5 mg/m3; PC-STEL: 10 mg/m3 |
| EPA化学物质信息 | Carbonic difluoride (353-50-4) |
碳酰氟 用途与合成方法
碳酰氟是一种有刺激性、非易燃无色有毒的气。作为新一代工业半导体设备的清洗和蚀刻材料，碳酰氟具有极低的全球变暖潜能值（GWP≈1），极低的破坏臭氧层潜能值（ODP＝0），极低的大气寿命（＜1a），是一种环境友好型电子气体。碳酰氟在工艺性能、环保性能、尾气处理及碳排放费用方面比三氟化氮均有一定优势。日本产业技术研究所新能源产业技术综合研发机构、地球环境产业技术研究机构对碳酰氟的物化性质、使用性能和生物活性进行了近十年的研究，确认碳酰氟为三氟化氮等气体的有力替代产品。 碳酰氟作为环境友好型气体，国内外许多研究机构都在进行制备和纯化的技术研究。碳酰氟的制备和纯化技术是目前工艺技术是目前工艺技术需要攻克的难点。碳酰氟作为有机合成中酰氟基或氟氧基的引入给很多新产品的合成提供新的方法。
类别
压缩气体和液化气体 毒性分级
高毒 急性毒性
吸入-大鼠 LCL0: 360 PPM/4小时 爆炸物危险特性
易爆 可燃性危险特性
易燃 储运特性
库房通风低温干燥 灭火剂
水 职业标准
TLV-TWA 5 毫克/立方米; STEL 15 毫克/立方米 安全信息
| 危险品标志 | T |
|---|---|
| 危险类别码 | 8-23/24/25-34 |
| 安全说明 | 3/7-9-36/37/39-38-45 |
| 职业暴露等级 | B |
| 职业暴露限值 | TWA: 2 ppm (5 mg/m3), STEL: 5 ppm (15 mg/m3) |
| 危险品运输编号 | UN 2417 |
| Hazard Note | Highly Toxic |
| TSCA | TSCA listed |
| 危险等级 | 2.3 |
| 毒害物质数据 | 353-50-4(Hazardous Substances Data) |
