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双（叔丁基氨基）硅烷新闻专题
双（叔丁基氨基）硅烷的应用
双（叔丁基氨基）硅烷是（BTBAS）硅烷偶联剂的一种，BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体，可沉积均匀的氮化硅。用于制造薄膜的起始材料前体(例如，以任意组合包含Si、C和N的化合物，优选，BTBAS)；用来处理起始材料前体的处理材料(例如，含氮前体，优选，适合于形成氮化物薄膜的材料，最优选NH3)；起始材料前体与处理材料的比率；薄膜生长的CVD条件(例如，RTCVD条件)；和/或薄膜生长的厚度。
2020-10-25
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