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双(叔丁基氨基)硅烷新闻专题
双(叔丁基氨基)硅烷的应用
双(叔丁基氨基)硅烷是(BTBAS)硅烷偶联剂的一种,BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体,可沉积均匀的氮化硅。用于制造薄膜的起始材料前体(例如,以任意组合包含Si、C和N的化合物,优选,BTBAS);用来处理起始材料前体的处理材料(例如,含氮前体,优选,适合于形成氮化物薄膜的材料,最优选NH3);起始材料前体与处理材料的比率;薄膜生长的CVD条件(例如,RTCVD条件);和/或薄膜生长的厚度。
2020-10-25
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