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C12-15 链烷醇聚醚-2新闻专题
脂肪醇聚氧乙烯醚在晶圆表面的吸附作用及对Al化学作用的影响
脂肪醇聚氧乙烯醚优先吸附晶圆形成滞留层，多晶硅吸附量高致其去除受抑而提升铝/硅选择比，并阻碍氧化剂接触铝表面，使铝化学作用减弱。
2025-11-28
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