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四双(乙基甲基氨)铪(IV)新闻专题
四双(乙基甲基氨)铪(IV)的应用
四双(乙基甲基氨)铪(IV)是原子层沉积制备HfO?薄膜的关键前驱体，在完全羟基化Si(100)表面通过低能垒配体交换反应生长薄膜。其可用于硅基及GaN等衬底。
2025-05-29
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