乙氧醇铌的制备
乙氧醇铌主要用作金属有机化合物气相沉积技术(MOCVD)制备大面积Nb2O5电致变色薄膜和铌酸盐(LiNbO3、KNbO3等)薄膜材料的原料。乙氧醇铌是极具发展前景的阴极着色薄膜,乙氧醇铌具有优异的压电、热电、光电、光弹性、电光和非线性光学特性,广泛用于集成光学、光通信、光学波导等领域,如集成光路(IntegratedOptics)、表面声波(SurfaceAcousticWave,SAW)装置的
2020-05-18
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