硅化钒新闻专题
硅化钒在陶瓷材料方面的应用
硅化物是制备大规模集成电路的关键材料,用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线,超大规模集成电路结深很浅,如64 兆位的超大规模集成电路的PN 结深度浅到200nm ,在如此浅结表面用常规的方法制备电极引线,经常导致PN 结穿通,使电路失效,为此则需要制备薄层硅化物,其中硅化钒是一种最好的选择。近年来,随着高速集成电路发展的要求,制备金属基三极管(MBT)和穿通三极管(PBT)的要求出现,离子注入合成薄层硅化物成了新的热点,但是用常规离子注入机注入合成硅化物,由于引出金属离子种类少,束流弱,效率低。
2020-10-25
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