八氟丙烷新闻专题

八氟丙烷（C3F8）也叫做全氟丙烷，是丙烷上的每一个氢原子都被氟原子取代的产物，性质稳定，用途广泛。本文将介绍它的几种合成工艺。

八氟丙烷(C3F8，又称全氟丙烷、R218)是-一种稳定性好的全氟化合物，标准状态下为无色气体，在水和有机物中溶解度都很小。在半导体工业中，八氟丙烷与氧气的混合气用作等离子蚀刻材料，会选择性地与硅片的金属基质作用。随着电子工业的迅速发展，高纯八氟丙烷的需求量日益增加，并且由于对刻蚀精度的要求越来越精细，相应地对其纯度要求也越来越高，现阶段，市场上高纯八氟丙烷电子气体的纯度大于99.999%。八氟丙烷的制备工艺当前主要有两种，一种为六氟丙烯加成，另一种为制备其他氟碳气体时的副产，主要为制备CF4时副产。