三(二甲胺基)硅烷新闻专题
三（二甲胺基）硅烷的制备
相关的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。
2022-10-14
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