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双(叔丁基氨基)硅烷

双(叔丁基氨基)硅烷,186598-40-3,结构式
双(叔丁基氨基)硅烷
  • CAS号:186598-40-3
  • 英文名:DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
  • 中文名:双(叔丁基氨基)硅烷
  • CBNumber:CB9750283
  • 分子式:C8H22N2Si
  • 分子量:174.36
  • MOL File:186598-40-3.mol
双(叔丁基氨基)硅烷化学性质
  • 沸点 :167°C
  • 密度 :0,816 g/cm3
  • 折射率 :1.4236
  • 闪点 :30°C
  • 酸度系数(pKa) :11.91±0.70(Predicted)
  • 形态 :liquid
  • 颜色 :colorless
  • 比重 :0.816
  • 水解敏感性 :8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
  • 敏感性 :moisture sensitive, store cold
  • EPA化学物质信息 :Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)- (186598-40-3)
安全信息
  • TSCA :No

双(叔丁基氨基)硅烷性质、用途与生产工艺

  • 用途 双(叔丁基氨基)硅烷是(BTBAS)硅烷偶联剂的一种,BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体,可沉积均匀的氮化硅,可用于制备氮化硅薄膜,半导体器件和浅沟道隔离薄膜。
双(叔丁基氨基)硅烷上下游产品信息
上游原料
下游产品
双(叔丁基氨基)硅烷生产厂家
  • 公司名称:Gelest, Inc.
  • 联系电话:--
  • 电子邮件:
  • 国家:新加坡
  • 产品数:2215
  • 优势度:39
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