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钨腐蚀剂

钨腐蚀剂,,结构式
钨腐蚀剂
  • CAS号:
  • 英文名:TUNGSTEN ETCH
  • 中文名:钨腐蚀剂
  • CBNumber:CB8849199
  • 分子式:
  • 分子量:0
  • MOL File:Mol file
安全信息
  • 危险品标志 :C
  • 危险类别码 :32-35
  • 安全说明 :26-36/37/39-45
  • 危险品运输编号 :UN 3266 8 / PGIII
  • WGK Germany :3

钨腐蚀剂性质、用途与生产工艺

  • 用途  半导体和微电子学技术中用于钨薄膜金属喷镀的选择性蚀刻剂。该蚀刻剂是以铁氰化盐为基础的弱碱性缓冲制剂,可提供高分辨率图案,侧蚀最低,并且具有光致抗蚀剂相容性。通过浸渍或喷洒蚀刻技术可实现可控的均匀蚀刻。
钨腐蚀剂上下游产品信息
上游原料
下游产品
钨腐蚀剂生产厂家