简介 用途 二乙基硅烷 试剂级价格
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二乙基硅烷

简介 用途 二乙基硅烷 试剂级价格
二乙基硅烷,542-91-6,结构式
二乙基硅烷
  • CAS号:542-91-6
  • 英文名:DIETHYLSILANE
  • 中文名:二乙基硅烷
  • CBNumber:CB8680635
  • 分子式:C4H12Si
  • 分子量:88.22
  • MOL File:542-91-6.mol
二乙基硅烷化学性质
  • 熔点 :-132°C
  • 沸点 :56 °C (lit.)
  • 密度 :0.681 g/mL at 25 °C (lit.)
  • 折射率 :n20/D 1.391(lit.)
  • 闪点 :−20 °F
  • 储存条件 :under inert gas (nitrogen or Argon) at 2-8°C
  • 溶解度 :Miscible with terahydrofuran, diethyl ether, 1,4-dioxane and benzene.
  • 形态 :liquid
  • 比重 :0.683
  • 水解敏感性 :3: reacts with aqueous base
  • 敏感性 :Air Sensitive
  • Merck :14,3128
  • BRN :1730902
  • CAS 数据库 :542-91-6(CAS DataBase Reference)
  • EPA化学物质信息 :Silane, diethyl- (542-91-6)
安全信息
  • 危险品标志 :F
  • 危险类别码 :11
  • 安全说明 :16-23-24/25
  • 危险品运输编号 :UN 1993 3/PG 2
  • WGK Germany :1
  • TSCA :Yes
  • 危险等级 :3
  • 包装类别 :II

二乙基硅烷性质、用途与生产工艺

  • 简介 二乙基硅烷作为沉积金属硅酸盐膜的硅源。一种形成作为电子器件中高k电介质的金属硅酸盐的方法，包括步骤：提供二乙基硅烷至反应区；同时提供氧源至该反应区；同时提供金属前驱体到该反应区；通过化学气相沉积使该二乙基硅烷、氧源和金属前驱体发生反应，以在包括该电子器件的衬底上形成金属硅酸盐。该金属优选为铪、锆或其混合物。该金属硅酸盐膜的介电常数可以基于膜中的金属、硅、和氧的相对原子浓度进行调节。
  • 用途 二乙基硅烷是一种硅烷试剂，有文献报道其可用于制备沉积金属硅酸盐膜的硅源。
二乙基硅烷上下游产品信息
上游原料
下游产品
二乙基硅烷 试剂级价格
  • 更新日期：2024/11/08
  • 产品编号：L16468
  • 产品名称：二乙基硅烷, 98+% Diethylsilane, 96+%
  • CAS编号：542-91-6
  • 包装：5g
  • 价格：693元
  • 更新日期：2024/11/08
  • 产品编号：L16468
  • 产品名称：二乙基硅烷, 98+% Diethylsilane, 96+%
  • CAS编号：542-91-6
  • 包装：25g
  • 价格：3084元
二乙基硅烷生产厂家
  • 公司名称：Gelest, Inc.
  • 联系电话：--
  • 电子邮件：
  • 国家：新加坡
  • 产品数：2215
  • 优势度：39
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