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ChemicalBook  CAS数据库列表  1,2,3,4-四氯六氟丁烷

1,2,3,4-四氯六氟丁烷

1,2,3,4-四氯六氟丁烷,375-45-1,结构式
1,2,3,4-四氯六氟丁烷
  • CAS号:375-45-1
  • 英文名:1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane
  • 中文名:1,2,3,4-四氯六氟丁烷
  • CBNumber:CB8386089
  • 分子式:C4Cl4F6
  • 分子量:303.85
  • MOL File:375-45-1.mol
1,2,3,4-四氯六氟丁烷化学性质
  • 沸点 :134-135°C
  • 密度 :1.72[at 20℃]
  • 形态 :liquid
  • 颜色 :Clear, colourless
  • InChI :InChI=1S/C4Cl4F6/c5-1(9,3(7,11)12)2(6,10)4(8,13)14
  • InChIKey :IRHYACQPDDXBCB-UHFFFAOYSA-N
  • SMILES :C(Cl)(F)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)F
安全信息
  • 危险品标志 :Xi
  • 危险类别码 :36/37/38
  • 安全说明 :26-36
  • 危险等级 :IRRITANT
  • 海关编码 :2903779090

1,2,3,4-四氯六氟丁烷性质、用途与生产工艺

  • 用途

    1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料,而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注,其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻,并具有很高的精准性。

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