ChemicalBook CAS数据库列表 1,2,3,4-四氯六氟丁烷
1,2,3,4-四氯六氟丁烷
- CAS号:375-45-1
- 英文名:1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane
- 中文名:1,2,3,4-四氯六氟丁烷
- CBNumber:CB8386089
- 分子式:C4Cl4F6
- 分子量:303.85
- MOL File:375-45-1.mol
1,2,3,4-四氯六氟丁烷化学性质
- 沸点 :134-135°C
- 密度 :1.72[at 20℃]
- 形态 :liquid
- 颜色 :Clear, colourless
- InChI :InChI=1S/C4Cl4F6/c5-1(9,3(7,11)12)2(6,10)4(8,13)14
- InChIKey :IRHYACQPDDXBCB-UHFFFAOYSA-N
- SMILES :C(Cl)(F)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)C(Cl)(F)F
安全信息
1,2,3,4-四氯六氟丁烷性质、用途与生产工艺
-
用途
1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料,而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注,其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻,并具有很高的精准性。
1,2,3,4-四氯六氟丁烷上下游产品信息
上游原料
下游产品
1,2,3,4-四氯六氟丁烷生产厂家
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