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硅化钒

硅化钒,12039-87-1,结构式
硅化钒
  • CAS号:12039-87-1
  • 英文名:VANADIUM SILICIDE
  • 中文名:硅化钒
  • CBNumber:CB2472843
  • 分子式:Si2V
  • 分子量:107.11
  • MOL File:12039-87-1.mol
硅化钒化学性质
  • 熔点 :1677 °C
  • 密度 :4.420
  • 溶解度 :soluble in HF
  • 形态 :metallic prisms
  • 颜色 :metallic prisms
  • 电阻率 (resistivity) :9.5 (ρ/μΩ.cm)
  • 水溶解性 :soluble HF [KIR83]
  • 晶体结构 :Hexagonal
  • EPA化学物质信息 :Vanadium silicide (VSi2) (12039-87-1)
安全信息
  • 危险品标志 :Xi
  • 危险类别码 :36/37
  • 安全说明 :26-36
  • WGK Germany :3
  • TSCA :Yes
  • 危险等级 :6.1

硅化钒性质、用途与生产工艺

  • 概述 硅化物是制备大规模集成电路的关键材料,用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线,超大规模集成电路结深很浅,如64 兆位的超大规模集成电路的PN 结深度浅到200nm ,在如此浅结表面用常规的方法制备电极引线,经常导致PN 结穿通,使电路失效,为此则需要制备薄层硅化物,其中硅化钒是一种最好的选择。
  • 用途 硅化物是制备大规模集成电路的关键材料,用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线,超大规模集成电路结深很浅.硅化钒的主要用途如下:1.制备硅化钒薄膜。2.制备一种吸声陶瓷材料。
  • 生产方法 

    在一直流等离子电弧炉中,加热V和Si的单质粉末。

硅化钒上下游产品信息
上游原料
下游产品
硅化钒生产厂家
  • 公司名称:WAKO
  • 联系电话:--
  • 电子邮件:labchem-tec@wako-chem.co.jp
  • 国家:日本
  • 产品数:6828
  • 优势度:80
  • 公司名称:KOJUNDO
  • 联系电话:--
  • 电子邮件:
  • 国家:日本
  • 产品数:1440
  • 优势度:54
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