产品特性 制备
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三(二甲胺基)硅烷

产品特性 制备
三(二甲胺基)硅烷,15112-89-7,结构式
三(二甲胺基)硅烷
  • CAS号:15112-89-7
  • 英文名:TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
  • 中文名:三(二甲胺基)硅烷
  • CBNumber:CB1241150
  • 分子式:C6H19N3Si
  • 分子量:161.32
  • MOL File:15112-89-7.mol
三(二甲胺基)硅烷化学性质
  • 熔点 :<0°C
  • 沸点 :145 °C
  • 密度 :0,838 g/cm3
  • 折射率 :1.4247
  • 闪点 :25°C
  • 酸度系数(pKa) :10.93±0.70(Predicted)
  • 形态 :liquid
  • 颜色 :colorless to light yellow
  • 比重 :0.84
  • 敏感性 :air sensitive, moisture sensitive
  • 水解敏感性 :8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
  • EPA化学物质信息 :N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7)
安全信息
  • 危险品标志 :F,C
  • 危险类别码 :10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
  • 安全说明 :16-26-36/37/39-45-43
  • 危险品运输编号 :1993
  • WGK Germany :3
  • RTECS号 :VV5800000
  • TSCA :Yes
  • 毒性 :rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.

三(二甲胺基)硅烷性质、用途与生产工艺

  • 产品特性 相关的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。 
  • 制备 一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三（二甲胺基）硅烷。
三(二甲胺基)硅烷上下游产品信息
上游原料
下游产品
三(二甲胺基)硅烷生产厂家
  • 公司名称：KOJUNDO
  • 联系电话：--
  • 电子邮件：
  • 国家：日本
  • 产品数：1440
  • 优势度：54
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