六氟化钨

理化性质主要用途危险特性贮运须知急救措施

六氟化钨

CAS号:7783-82-6
英文名:Tungsten hexafluoride
中文名:六氟化钨
CBNumber:CB2324737
分子式:F6W
分子量:297.83
MOL File:7783-82-6.mol

六氟化钨化学性质

熔点 :2.3 °C(lit.)
沸点 :17.5 °C(lit.)
密度 :d15liq 3.441
蒸气压 :10hPa at 20℃
溶解度 :reacts with H2O; very soluble in ctc,cyclohexane
形态 :colorless gas
颜色 :yellow
水溶解性 :decomposes
Merck :13,9885
CAS 数据库 :7783-82-6(CAS DataBase Reference)
NIST化学物质信息 :Tungsten hexafluoride(7783-82-6)
EPA化学物质信息 :Tungsten fluoride (WF6), (OC-6-11)- (7783-82-6)

安全信息

危险品标志 :T,C
危险类别码 :23/24/25-34
安全说明 :26-36/37/39-45
危险品运输编号 :UN 2196 2.3
WGK Germany :3
RTECS号 :YO7720000
Hazard Note :Toxic/Corrosive
危险等级 :2.3
海关编码 :2826199090
毒害物质数据 :7783-82-6(Hazardous Substances Data)

六氟化钨 MSDS

Tungsten hexafluoride
六氟化钨

六氟化钨性质、用途与生产工艺

理化性质化学式WF6。分子量297.84。无色气体或淡黄色液体。有强刺激性。有毒，其毒性与氟相似。温度很低时呈白色固体。能溶于有机溶剂并产生特殊的颜色。遇水分解。在空气中被潮气分解而强烈冒烟，生成黄钨酸或三氧化钨。化学性质活泼。几乎能和所有的金属(除金和铂)反应。对镍、蒙乃尔合金和不锈钢也有腐蚀性，但Ni和不锈钢可抗其腐蚀性。干燥状态时，对玻璃的腐蚀性较弱，而在湿气中则能迅速反应。与气态氨反应强烈。能被氨水或碱所吸收。与碱金属氟化物可成复盐。溶于苯等多种有机溶剂。
【密度】 3.44×103kg/m3(15℃，液体)
【熔点】 2.5℃(5.6×104帕)
【沸点】 17.5℃
【临界温度】 171℃
【临界压力】 445.8kPa
【制备方法】由金属钨粉与元素氟直接反应合成。
【主要用途】（1）一种强氟化剂，用于气相沉积法制钨膜。（2）在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钨或钨，以制作低电阻、高熔点的互连线。

图1为六氟化钨分子结构式。
主要用途六氟化钨（WF6）是唯一能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性，可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能，被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用，其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜，钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层，因此被广泛应用于半导体集成领域；另外，六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及 X 射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。
危险特性遇潮湿、空气或水会分解，放出剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。对皮肤、眼睛、粘膜能引起极严重的灼伤。高浓度暴露会引起恶心、呕吐、腹痛、抽搐、肾损伤。本信息由Chemicalbook晓楠编辑（2015-09-05）。
贮运须知装于特殊钢瓶内，贮于阴凉、通风的库房内。避免日光直射。远离热源和火源。防止受潮。与金属、玻璃制品隔离贮运。须贴“毒气”标志。航空、铁路禁止运输。周围其他可燃物着火时，可用干粉、二氧化碳灭火。可用水冷却钢瓶，迅速关闭阀门。
急救措施眼睛受刺激可致盲，须不断用水冲洗，迅送医院诊治。皮肤和粘膜受腐蚀后很难痊愈，须用水冲洗，再涂敷氧化镁甘油软膏或稀氨水，并就医诊治。
类别压缩气体和液化气体
可燃性危险特性遇水分解有毒氟化氢气体和钨酸
储运特性库房通风低温干燥
灭火剂水
职业标准 TLV-TWA 5 毫克(钨)/立方米; STEL 10 毫克(钨)/立方米