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三氯化硼

三氯化硼,10294-34-5,结构式
  • 中文名称:三氯化硼
  • 中文别名:三氯化硼;氯化硼;三氯化硼,1M的二氯甲烷或者正己烷;三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN XYLENE, SPCSEAL;BCL3-2-氯乙醇;三氯硼烷;三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN TOLUENE, SPCSEAL;三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN P-XYLENE, SPCSEAL
  • 英文名称:Boron trichloride
  • CAS No:10294-34-5
  • EINECS号:233-658-4
  • 分子式:BCl3
  • 产品类别:无机化工
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用途
高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中的等离子干刻、扩散掺杂,在高温下,经过分解生成硼杂质向硅中扩散,形成P型半导体,也可用于Al、MoChemicalbookSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蚀刻;作硼载气及一些有机反应的催化剂;精炼镁、锌、铝、铜合金时从溶化金属中除掉氮、碳、氧化合物。