ホトレジスト

ホトレジスト 化学特性,用途語,生産方法

• 解説

  半導体プロセスの一つであるリソグラフィーにおいて，回路パターン形成のため，シリコンウェハーなどの上に塗布する感光性樹脂．マスクパターンを通しての露光，現像，エッチング工程によって回路が形成される．塗膜の露光部分が現像液に不溶になるネガ型と，可溶になるポジ型がある．プリント配線にも使われる．