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四氟化硅

SiF4
7783-61-1
询价 30kg 起订
河北 更新日期:2024-05-22

中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司

VIP3年
联系人:赵经理
电话:0310-7182720-613拨打
手机:15620672519 拨打
邮箱:zhaoqingwei@pericsg.com

产品详情:

中文名称:
四氟化硅
英文名称:
SiF4
CAS号:
7783-61-1
纯度规格:
99.999%
产品类别:
电子特种气体

高纯电子级四氟化硅(SiF4)作为电子工业重要原料之一,具有较高的氟硅比,被广泛应用于光纤、半导体或太阳能电池的生产,是电子产业核心制造业的基础。它可以高效刻蚀氮化硅、硅化钽等芯片材料,作为P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源。特别在新一代芯片制程的高深宽比、大容量金属层间绝缘介质加工工艺中,四氟化硅作为硅源可以达到较高的化学沉积速率,制成更优越的低介电常数SiO2薄膜。另外,四氟化硅也是光导纤维制造工艺的主要原料和光纤行业中硅基半导体离子注入制程的关键成分。


半导体、光纤;

公司简介

中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司隶属于中国船舶集团公司第七一八研究所,从事高纯特种电子气体和化学品研发及产业化已四十多年。公司总经营产品种类200余种,全国范围内已形成“四基地六仓储两中心”的产业布局,是国家科技重大专项(02专项)-高纯电子气研发与产业化项目的牵头单位,中国集成电路材料联盟副理事长单位。在电子特气行业,已达到国内第一,世界前十的行业地位。公司拥有核心自主知识产权42项,牵头制定国家标准2项,行业标准1项,省部级以上科技奖20余项。公司主要产品三氟化氮、六氟化钨、三氟甲磺酸的国内市场占有率保持绝对领先,是20多家全球知名半导体企业的第一供应商。

成立日期 (8年)
注册资本 37932.539652万人民币
员工人数 500人以上
年营业额 ¥ 1亿以上
经营模式 工厂
主营行业 医药中间体,医药中间体,同位素试剂,同位素试剂,特种化学品,特种化学品

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